ロータリーポンプは油回転真空ポンプの代名詞

大学や電子専門学校の真空工学やデバイスプロセス工学などの授業で最初に習う真空ポンプは油回転ポンプです。なぜなら、油回転ポンプは到達真空度こそ低いのですが、高真空・超高真空・極高真空雰囲気を作り出す場合でも、一番最初に行う粗引きに欠かせない基本的な真空ポンプだからです。

油回転ポンプは、回転翼型ポンプ・カム型回転ポンプ・揺動ピストン型ポンプの三酒類に分類されますが、これらはどれも自動車のロータリーエンジンに良く似た構造をしていることで共通しています。このことから、ロータリーポンプが油回転ポンプの代名詞的に用いられます。排気速度が高く、安価で扱いやすいことがロータリーポンプの利点です。

回転翼型ポンプ(ゲーデポンプ)はこの中でも小形で到達真空度が比較的高い(1ミリパスカル程度)ので、最も広く用いられています。単にロータリーポンプと言えばこの回転翼型を限定して言うこともあります。カム型回転ポンプの真空度もゲーデポンプと同程度ですが、こちらはやや大形なので、用途は少し限られます。揺動ピストン型ポンプは大形で振動が激しいので、さらに用途が限定されます。

コメントを残す

メールアドレスが公開されることはありません。 * が付いている欄は必須項目です